| 使用原子力显微镜的线边缘粗糙度分析 |
| US17552301 2021-12-15 发明申请 |
| 2022-4-7 |
| 本文公开的实施例一般涉及用于测量衬底的特性的方法。 在一个实施例中， 该方法包括用扫描探针显微镜在衬底上扫描， 衬底上具有翅片， 所述扫描获得表示所述鳍的各个鳍顶部区域的图像， 扫描探针显微镜通过在扫描期间振荡的扫描探针与翅片的侧壁的相应部分相互作用， 选择在鳍顶部区域下方的预定深度处获得的图像，以获得鳍的线边缘轮廓， 通过基于处理器的系统， 使用功率谱密度(PSD)方法分析鳍片的线边缘轮廓，以获得鳍片的线边缘轮廓的空间频率数据，并且由基于处理器的系统基于空间频率数据计算鳍片的线边缘粗糙度。 |
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