| 一种基于面阵电荷耦合器件的激光衍射表面粗糙度轮廓仪 |
| CN202110390006.4 2021-4-12 发明申请 |
| 2021-7-9 |
| 一种基于面阵电荷耦合器件的激光衍射表面粗糙度轮廓仪，是接触式表面粗糙度轮廓仪，包括与被测体的表面接触的触针、控制所述触针在被测体的表面移动的驱动控制系统、位移传感组件以及信息处理系统，其特征在于：所述位移传感组件包括设有由触针驱动的光程可伸缩的激光衍射光学系统，以及设置在可伸缩光程末端的面阵电荷耦合器件。本发明将触针与激光衍射光学系统组合成一体化探测器，显著减少触针与位移传感组件之间的机械误差，不易受包括温度、湿度、大气压力与振动的环境因素影响，测量精度高。相比现有的电容式位移传感器、电感式位移传感器，不存在边缘效应和寄生电容对测量参数的影响，动态范围较大，能用于进行曲面形貌测量，且价格较低。 |
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