| 显微镜装置,使用显微镜装置测量样品折射率的方法和使用显微镜装置测量样品折射率的程序 |
| WOJP21031109 2021-8-25 发明申请 |
| 2022-4-7 |
| 一种显微镜装置(1),包括:照明光学系统(20),其将来自光源(17)的光引导到样品(TP); 检测来自样品(TP)的光的检测单元(51); 检测光学系统(40),其具有物镜(30)并将来自样品(TP)的光引导到检测单元(51); 掩模(27),其允许来自样品(TP)的一部分光和来自光源(17)的光通过,并阻挡另一部分光; 掩模切换单元(28),其改变掩模(27)的掩模图案; 显微镜控制单元(80); 以及信息处理装置(90)。 显微镜控制部(80)控制掩模切换部(28)变更掩模图案。 信息处理装置(90)在掩模图案变更时取得包含物镜(30)的光学系统的焦点位置的偏移量的信息, 以及基于所获得的关于焦点位置的偏移量的信息来计算样品(TP)的折射率。 |