| 用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪 |
| CN200510079850.6 2005-6-29 发明申请 |
| 2006-1-25 |
| 本发明公开了一种用于测量沿第一方向的位移 的干涉仪系统，包括：(1)安装到台的测量脊镜(例如波罗棱镜)， 所述台可以沿所述第一方向平移；(2)偏振束分光器，其具有(a) 与所述测量脊镜相对的第一表面和(b)与所述第一表面相反的 第二表面；(3)位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第 一表面之间的第一波片；和(4)与所述偏振束分光器的所述第二 表面相对地定位的重定向镜。通过所述系统的测量路径仅包括 基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方 向所界定的平面中的部分。 |
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