| 同时采集导电原子力显微镜和侧向力显微镜信号以表征ZnO纳米棒压电势的方法和装置 |
| KR1020200133982 2020-10-16 发明授权 |
| 2022-4-6 |
| 本发明涉及一种通过同时测量导电原子显微镜和侧向力显微镜的信号来测量ZnO螺旋的压电势特性的方法和装置， 其中，根据本发明的通过同时进行导电原子显微镜和横向力显微镜的信号测量来测量ZnO螺旋的压电势特性的方法是第一步骤，即对使用本发明的探针生长的纳米棒垂直施加力。 导电原子力显微镜(C-AFM)并将其弯曲； 第二步骤，其中侧向力显微镜(LFM)获得LFM信号，该LFM信号是由导电原子显微镜(C-AFM)的探针的扭转产生的侧向力信号； 导电原子显微镜(C-AFM)是获得C-AFM信号的第三步骤，该C-AFM信号是由通过探针的螺旋的发电电势产生的电流信号； 所述效率特性输出被配置为包括所述第四步骤； 它提供了用于从螺旋线输出的电流量的转换效率，以准备使用LFM信号和C-AFM信号施加在螺旋线上的力。 |
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