| 一种扫描探针显微镜 |
| CN202122517604.1 2021-10-19 实用新型 |
| 2022-4-5 |
| 本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括扫描组件和驱动部件，扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，扫描探针组件包括支撑部件、设置在支撑部件上的检测头、与检测头位置相对应的扫描台；光学显微镜组件包括支架和设置在支架上的光学显微镜，光学显微镜设置在检测头上方。扫描探针组件与光学显微镜组件分体设置，探测头由支撑部件独立支撑，能够实现检测头轻量化和微型化，因此检测头相对支撑部件的结构刚性和固有频率显著提高，有效提升了扫描探针组件的稳定性；光学显微镜由支架独立支撑，提升了光学显微镜组件的灵活性，可以根据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。 |
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