| 外差激光干涉仪配备有用于测量位移的波罗棱镜级 |
| JP2005198818 2005-7-7 发明申请 |
| 2006-2-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光外差干涉仪，其可以参考光束和测量光束中最小位移由于旋转的阶段。溶液 : 该干涉仪系统100，100a，400，用于测量位移沿所述第一方向(Z)包括(1)测量屋顶形的光学部分104，404(E。G。，波罗棱镜)附着到一沿所述第一级108移动方向，(2)(a)第第一面105面向所述测量屋顶状光学部件以及(b)一个偏振光束分束器103配备有一第二面109相对的以所述第一面，(3)第一波长板106，406位于所述测量之间的屋顶形的光学部件和所述第一所述偏振分束器的面，和(4)一周转光学部件110位于所述相反侧上，以所述所述偏振分束器第一的面。测量的光路径穿过所述系统包括仅由两个标定的那些段位于该平面中所述第一方向和所述第二方向垂直于所述第一方向(Y或X)。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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