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产业专利数据

multispindle测量仪器

JP59195892 1984-9-20 发明申请

1985-5-22

本发明设想了一种多-坐标测量机与该路径的干涉检测的位移在每个所述的测量轴。每个测量轴是提供具有至少一个干涉仪头，其由一束的束器，参考镜和光电检测器。该干涉仪头通过一单模光纤被供给从一单个固定激光发生器。