| 一种坐标测量机使用一个参考板 |
| KR1020080023467 2008-3-13 发明申请 |
| 2009-9-17 |
| 目的 : 一种坐标测量机使用所述基准板是通过确定所引起的误差提供给正确的该坐标以该机的所述下垂。构成 : 一个坐标测量机包括一目标对象(200)，一个测量单元(20)。和一个参考板，所述测量单元是安装在所述目标对象的顶部，所述测量单元是组合所述X-轴上的阶段(30)中，以便可以从侧向侧移动。所述基准板是固定所述测量单元的顶部上，所述测量单元包括一个光源(21)，一分光镜(22)，一个第一镜(23)，一第二镜(24)，第第一干涉仪(25a)，第第二干涉仪(25b)和一个接收机(26)。该光源照射所述的光。所述分光镜将所述辐射的光从所述光源。第一镜反射该光通过分光镜，其被分成所述下部。第二反射镜反射该光从所述分光镜和第一反射镜。kipo2009 |
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