| 一种用于测量载物台位移的具有多孔棱镜的外差式激光干涉仪 |
| US10897467 2004-7-23 发明申请 |
| 2006-1-26 |
| 一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统，包括 : (1)安装到可沿第一方向平移的载物台的测量顶部光学器件(例如，多孔棱镜)；(2)偏振分束器，具有(a)与测量顶部光学器件相对的第一面和(b)与第一面相对的第二面；(3)位于测量顶部光学器件和偏振分束器的第一面之间的第一波片；以及(4)与偏振分束器的第一面相对的重定向光学器件。 穿过该系统的测量路径仅包括基本上位于由第一方向和与第一方向正交的第二方向限定的平面中的段。 |
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