| 光学加速度计 |
| US13941862 2013-7-15 发明授权 |
| 2016-3-8 |
| 提供了一种光学加速度计，包括第一基板、第二基板、间隔件和处理单元。 第一基板包括框架、可移动构件和至少一个弹性构件。 沿至少一个方向在可移动构件上形成周期性狭槽，以用作衍射光栅。 弹性构件连接在框架和可移动构件之间。 所述第二基板包括至少一个感测单元，所述至少一个感测单元被配置为检测由所述衍射光栅形成的衍射图案。 间隔件设置在第一基板和第二基板之间以限定预定高度。 所述处理单元耦合到所述感测单元，并被配置为根据所述衍射图案计算3D加速度。 |
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