| 单片双惯性参数加速度计陀螺仪 |
| CN200510056751.6 2005-3-25 发明申请 |
| 2005-8-3 |
| 本发明涉及加速度计陀螺仪，具体为单片双惯性 参数加速度计陀螺仪。本发明解决现有的加速度计陀螺仪制作 工艺精度要求高、信息的后续处理程序复杂、烦琐、结构相对 复杂、体积和重量相对大以及只适用于加速度和角速度方向相 互垂直的状态等问题。该单片双惯性参数加速度计陀螺仪包含 壳体，在壳体底板上通过弹性梁锚固有质量块，质量块两侧固 定有梳齿电容，质量块由外框架和固定于外框架内的质量芯块 构成，敏感梳齿固定于质量块的外框架的两侧外壁，质量块的 外框架的两侧内壁固定有梳齿驱动器；在质量芯块的上、下端 面和壳体顶板、底板上对应地固定有电极。其对两类惯性参量 单片集成检测，可敏感同方向上的加速度和角速度值，具有较 高的实用价值。 |
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