| 三维测量头 |
| CN201310135331.1 2013-4-18 发明申请 |
| 2013-8-7 |
| 本发明公开了一种三维测量头,包括测杆、测杆摆动检测机构和测杆位移检测机构,所述测杆摆动检测机构包括基体和由交叉弹片构成的柔性铰链,所述柔性铰链分别设于基体的上、下两端,两者的回转中心轴线分别为X向和Y向,上、下端柔性铰链与基体之间分别设置检测X向和Y向转动量的测量元件,所述测杆连接于基体下端的柔性铰链上;所述测杆位移检测机构包括于导向机构内沿Z向上、下运动的移动杆,所述移动杆的下端连接基体上端的柔性铰链,移动杆与导向机构之间设置检测Z向位移量的测量元件和使移动杆复位的回位弹簧。本发明线性精度高,制作工艺简单,生产成本低,可替代进口产品,应用于三坐标测量机和数控机床上的工件高精度检测。 |