| 显微镜,观察方法,折射率测定方法和程序 |
| JP2020160265 2020-9-24 发明申请 |
| 2022-4-5 |
| “问题”提供了一种显微镜以保持照明表面在样品中的位置。 [解决手段]显微镜100具有物镜33, 检测光学系统32,其从样品9接收检测光30a; 照明光10a从与物镜33的光轴方向交叉的方向照射样品, 以及形成照明面的光光学系统12, 位置检测部,其检测与试样的光轴方向的位置有关的信息; 以及控制单元, 控制单元具有: 根据位置检测部的检测结果,使物镜和保持试样的载物台中的一个在物镜的光轴方向上移动, 执行用于将检测光学系统中的物镜33的焦点位置设置为样品的预定位置的第一控制, 并且当物镜33在光轴方向上移动时,进一步驱动包括在照明光学系统12中的光学元件; 执行用于将照明光的照射位置设置在样品的预定位置处的第二控制。 因此,可以保持发光表面在样品中的位置。 “选择图”图1 |