| 发射针、电子源及显微镜 |
| CN202120623503.X 2021-3-26 实用新型 |
| 2022-4-1 |
| 本实用新型公开了一种发射针、电子源及电子显微镜,涉及电子显微镜技术领域,发射针位于电子源中发射电子,其包括针身和针尖,针尖设置在针身端部,针尖呈倒锥形结构,且沿远离针身的方向,针尖的截面半径变化率越来越小,针尖的尖端呈半径大小为0.1?0.3um的圆滑表面,电子源包括上述的发射针结构,电子显微镜包括上述的电子源结构。如此设置,该发射端的尖端不存在凹凸不平的情况和微裂纹,圆滑表面有助于电子发射过程中更加稳定和均匀。 |