| 通过测量装置测量测量对象的表面特性的方法，执行该方法的原子力显微镜和存储在存储介质上执行该方法的计算机程序 |
| KR1020210125981 2021-9-23 发明申请 |
| 2022-4-1 |
| 本发明涉及一种通过测量装置测量测量对象的表面特性的方法， 它可以减少尖端的磨损，同时具有较快的测量速度，并适用于深和窄沟槽结构的测量， 执行该方法的原子显微镜，以及存储在存储介质中用于执行该方法的计算机程序中的计算机程序。 根据本发明的一个实施例的用于解决该任务的方法是通过测量装置测量测量对象的表面的特性的方法，该测量装置通过测量尖端和表面之间的相互作用来测量测量对象的特性。 测量对象的。 该方法包括：接近步骤，将待接触的尖端定位在测量物体表面上的特定位置； 以及提升步骤，使所述尖端与所述测量对象的所述表面间隔开接触； 重复测量物体表面上的多个位置， 在接近步骤和提升步骤中的一些或全部步骤中控制尖端振动，并且根据尖端振动特性的变化控制尖端的运动特性。 |
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