| 用可变设定点设定的测量装置测量测量对象的表面特性的方法，执行该方法的原子力显微镜和存储在存储介质上执行该方法的计算机程序 |
| KR1020210125985 2021-9-23 发明申请 |
| 2022-4-1 |
| 本发明涉及一种测量物体表面特性的方法，该方法通过在针尖模式的接近操作时根据要接近的点的状态可变地设定力设定点， 执行该方法的原子显微镜，以及存储在存储介质中存储的用于执行该方法的计算机程序。 根据本发明的一个实施例的用于解决该任务的方法是通过测量装置测量测量对象的表面的特性的方法，该测量装置通过测量尖端和表面之间的相互作用来测量测量对象的特性 一种通过重复执行接近操作和提升操作以使尖端接近和接触测量对象的表面来测量测量对象的表面的方法。 接近操作是在被控制为使得特征值达到设定点的操作中执行的，并且设定点是基于执行接近操作的点的状态而可变地设定的。 |
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