| 扫描电子显微镜 |
| DE112011104912 2011-11-2 发明授权 |
| 2022-3-31 |
| 带电粒子显微镜通过在比观察图像短的时间内测量校正基准图像来校正由采样阶段中的漂移的影响引起的图像失真， 通过将观察图像的形状与校正参考图像的形状进行比较来进行校正，并且减小观察图像中的失真。 失真校正用参照图像在与取得观察用图像时相同的位置和放大率下进行测定。 为了减少漂移的影响，此时在比基本观察图像更短的时间内测量参考图像。 通过比较参考图像和观察图像的形状，并校正观察图像的形状以匹配参考图像，来校正观察图像的形状。 |
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