| 一种激光动态干涉仪 |
| CN201911120214.1 2019-11-15 发明申请 |
| 2020-2-21 |
| 本发明属于激光干涉仪技术领域，提供了一种激光动态干涉仪，包括：激光器、用于将所述激光器发射的激光光束进行准直的准直结构、平面反射镜和平面反射镜、1/4波片和1/4波片、偏振分束镜等结构。其采用交叉可自由变向微偏振器阵列，用于产生同一时间的相移，并且采用了液晶相位延时器与传统干涉仪相组合的形式，配合不同的偏振器阵列可以得到不同的干涉相，从而在原有的激光干涉仪测量基础上实现切换测量。同时本发明采用偏振光干涉原理，将传统相移干涉仪的时间域相移转换为空间域相移，使得一个CCD帧频内就可实现全分辨的测量。本发明实现了传统干涉仪所不具有的快速测量，对震动不敏感，减少气流的影响等优点。 |
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