| 电子显微镜 |
| WOJP20036200 2020-9-25 发明申请 |
| 2022-3-31 |
| 本发明提供一种即使是具备物镜的电子显微镜， 这导致磁场向样品泄漏， 为了通过使用低角度反射电子获得扫描电子显微镜图像， 即，以低角度发射到样品表面的反射电子，提供了一种用于通过使用电子束产生样品的观察图像的电子显微镜，所述显微镜的特征在于包括：用于用电子束照射样品的电子源； 物镜，用于通过使用泄漏磁场，即朝向样品泄漏的磁场来聚焦电子束； 检测器，用于检测三级电子，即当低角度反射电子，即以低角度发射到样品表面的反射电子被泄漏磁场引起与样品碰撞时发射的电子； 以及补偿电极或补偿磁极，其设置在低角度反射电子与样品碰撞的位置和检测器之间，并控制三级电子的轨迹。 |
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