| 由测量装置测量被测物体表面特性的方法，执行该方法的原子力显微镜和存储在存储介质中执行该方法的计算机程序 |
| WOKR21013064 2021-9-24 发明申请 |
| 2022-3-31 |
| 本发明涉及一种通过测量装置测量被测物体表面特性的方法，其中该方法具有更快的测量速度，能够减少尖端的磨损，并且适合于测量深和窄的沟槽结构； 用于执行该方法的原子力显微镜； 以及存储在存储介质中以执行该方法的计算机程序。 根据本发明的一个实施例的用于解决上述问题的方法是一种用于测量待测物体的表面的特性的方法， 一种测量装置，其通过测量尖端和物体表面之间的相互作用来测量物体表面的特性。 在本方法中， 相对于被测物体的多个位置，重复地执行将尖端定位为与被测物体的表面的特定位置接触的接近步骤和将接触的尖端从被测物体的表面分离的提升步骤。 控制顶端在接近步骤和提升步骤的一部分或全部中振动的物体表面，并且根据顶端的振动特性的变化控制顶端的运动特性。 |
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