| 用于压痕仪器的压痕头 |
| US18450197 2023-8-15 发明申请 |
| 2024-2-22 |
| 一种用于压痕仪器的压痕头系统，包括：至少沿压痕轴线接触样品表面的压痕尖端； 支撑所述尖端的基准元件； 零水平传感器，其产生指示所述尖端是否相对于所述基准元件从中性相对位置移位的信号； 弹性元件，所述弹性元件位于所述尖端和具有已知伸长率的致动器之间，所述致动器连接到所述基准元件； 以及控制器，从所述零水平传感器接收信号，以基于所述零水平传感器的输出和所述致动器的所述已知伸长来执行所述致动器的伺服控制，从而所述零水平传感器输出对应于所述尖端从所述中性相对位置的基本上为零的位移的信号，所述控制器基于所述位移传感器的输出和所述弹性元件的弹性系数来计算由所述尖端施加到所述样品的力。 |
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