| 利用测试光束横向偏差的干涉仪 |
| US06287269 1981-7-27 发明授权 |
| 1984-3-13 |
| 激光干涉仪(10)使用分成参考光束(14)和测试光束(15)的光，所述参考光束(14)和测试光束(15)行进不同的路径，光束(14)和(15)从所述路径反射并重新组合以检测干涉条纹。 用于测试梁15的路径被布置成在长度上随着横向于其路径的偏差而改变。 为此，反射衍射光栅25相对于测试光束15以光栅的自准直角倾斜，以将测试光束从光栅的倾斜表面反射回其自身。 然后，测试光束15入射到光栅25上的区域的横向偏差改变从光栅的倾斜表面反射的测试光束的路径长度，并且允许测量。 |
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