| 跟踪型激光干涉仪用于对象与自由度的旋转度 |
| EP11785378 2011-11-11 发明申请 |
| 2013-10-23 |
| 一激光干涉仪和一个用于操作激光干涉仪的方法执行一个差分的位置由激光干涉测量法测量两个元件，同时提供一种旋转程度的自由度，以一个所述的元件使用反射球作为一种反射镜，用于所述激光束。所述激光干涉仪和方法不要求所述物体要对准与所述转动轴，而是可以跟踪该物体在离中心几何形状，这是通过使用所述的指点所述反射光束从所述球体作为一反馈信号，以重新对齐然后所述干涉仪，其具有一恒定的束指向到所述该球的中心在所有情况下。所述激光干涉仪和所述的方法保持该方向测量恒定的，所述激光干涉仪和方法是适合用于零差和激光干涉仪的类型的外差技术。 |
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