| 激光干涉仪型旋转自由度的跟踪物体 |
| ES11785378 2011-11-11 译文 |
| 2016-12-20 |
| 激光干涉仪和激光干涉仪的操作方法进行差动式位移测量的激光干涉测量两个元件同时提供一个旋转自由度中的一个元件利用反射球为镜的激光束。激光干涉仪和方法不需要对准物体的转动轴，也可以跟踪该对象在偏离中心的几何形状。这是通过使用指向所述球形反射光束作为反馈信号，以重新排列这种干涉仪具有恒定的电子束指向所述中心球体在所有情况下。激光干涉仪和方法的测量方向保持恒定。激光干涉仪和方法适用于零差及外差激光干涉仪类型的技术。 |
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