| 用于在扫描探针显微镜系统中实现导航的方法，系统和部件 |
| WONL21050560 2021-9-16 发明申请 |
| 2022-3-24 |
| 本发明涉及一种校准扫描探针显微镜系统以实现导航的方法。 该系统包括多个扫描头中的一个，坐标参考栅极和衬底载体。 衬底载体包括与坐标参考网格相对设置并远离坐标参考网格的载体表面，以限定用于一个或多个扫描头的工作空间。 为了能够在扫描头和衬底载体之间进行导航，使用与坐标参考网格协作的传感器编码器来确定光学传感器的相对位置和坐标参考网格之间的关系。 这提供了表示光学传感器相对于栅格的坐标系的坐标系数据，光学传感器相对于传感器编码器是固定的。 此外，确定扫描头的探针针尖和头部编码器的相对偏移位置，以便允许使用所获得的坐标系定位探针针尖。 该文件还涉及一种晶片对准方法，一种光学传感器及其支架，一种组件，一种扫描探针显微镜系统和一种计算机程序产品。 |
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