| 光学干涉，和使用其的傅里叶变换光谱仪 |
| JP2013244695 2013-11-27 发明授权 |
| 2014-6-11 |
| 要解决的问题 : 在横臂式干涉仪，在旋转时产生的镜扫描的运动轴因位移的旋转轴，干扰强度信号数据的准确性，降解。方法 : 在本发明中，该旋转轴线以校正当扫描偏差“轴”横臂式干涉仪设置纠偏机构W的轴向移位的校正机构，和校正单元，径向位移检测段和径向段，径向位移。该校正单元，具备径向，轴向和径向位移传感器和用于校正偏差的静电促动器包括，径向位移检测部，传感器信号通过检测从径向位移传感器的偏差的旋转中心轴，和检测信号发送到所述径向位移的校正控制部分，径向位移的控制部分，基于所述检测信号的静电致动器，在径向方向的旋转中心轴的转轴以消除偏差控制·正确的位置。选择绘制 : 图。1 |
微信公众号