| 扫描电子显微镜 |
| JP2013009727 2013-1-23 发明授权 |
| 2017-4-26 |
| 所要解决的问题 : 提供一种可指定载物台装置的位置在较宽的范围内，而无需拉伸反射反射镜或在一个方向上安装多个干涉仪。溶液 : 该载置台装置，包括样品台和激光干涉仪位置测量装置上还设置有另一阶段，不同于上述指定的位置的激光干涉仪样品台，以及控制器，用于切换所述激光干涉仪和其它阶段的位置测量装置。所述样品台被配置成可移动到的位置不会照射到反射镜激光。当样品台位于所述反射镜的位置区域不照射激光，所述控制器控制所述其它台的位置进行位置测量的测量装置。 |
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