| 电子显微镜中的试样观察方法，电子显微镜用图像分析装置，电子显微镜用图像分析方法及电子显微镜 |
| JP2019099372 2019-5-28 发明授权 |
| 2022-3-23 |
| 提供一种电子显微镜中的试样观察方法， 一种用于电子显微镜的图像分析器， 一种电子显微镜和用于电子显微镜的图像分析方法， 能够使用通过初级分析获得的次级电子强度和反射电子强度来分析图像， 不需要安装新的电子探测器或不改变探测器的位置， 以及获得组织的图像反射微结构。解决方案： 一种在具有反射检测器和第二电子检测器的电子显微镜中的样品观察方法，通过主电子束扫描样品表面的任意区域， 获取该区域的M×N个像素的反射电子图像， 获取该区域的M×N个像素的二次电子图像， 对具有同一像素的反射电子图像对比度和二次电子图像对比度的M×N二维矢量的集合进行多元统计分析， 作为部件， 在反射电子图像和二次电子图像中， 求出第1主成分的因子负荷量和第2主成分的因子负荷量，将第1主成分的因子负荷量和第2主成分的因子负荷量显示为M×N像素的图像。 |
微信公众号