| 跟踪式激光干涉仪在转动自由度物体上的应用 |
| US13993773 2011-11-11 发明申请 |
| 2013-12-12 |
| 一种激光干涉仪和用于操作激光干涉仪的方法，通过两个元件的激光干涉测量来执行微分位置测量，同时使用反射球作为激光束的反射镜来向元件之一提供旋转自由度。 激光干涉仪和方法不要求物体与旋转轴对准，而是可以在偏心几何形状中跟踪物体。 这是通过使用来自球体的反射光束的指向作为反馈信号来重新对准干涉仪来实现的，然后在所有情况下，干涉仪具有指向球体中心的恒定光束。 激光干涉仪和方法保持测量方向恒定。 本发明的激光干涉仪和方法适用于零差式和外差式激光干涉仪技术。 |
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