| 跟踪型激光干涉仪用于对象与自由度的旋转度 |
| WOEP11069977 2011-11-11 发明申请 |
| 2012-6-21 |
| 该方法涉及所述的差分位置由激光干涉测量法测量两个元件，同时提供一种旋转的程度所述元件使用反射球的自由度，以一个作为反射镜，用于所述激光束。该方法不要求这种对象，以与所述旋转轴线被对准，而是可以跟踪该在偏离中心的几何形状对象。这是通过使用所指向的所述反射光束从该球体作为反馈信号，以重新对齐然后所述干涉仪，其具有一恒定的光束指向所述该球的中心在所有情况下。所述的方法保持所述所测量的方向恒定。所述的方法是合适的以激光干涉仪的零差和外差类型的技术。 |
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