| 反射式光栅尺 |
| WOCN21000029 2021-2-23 发明申请 |
| 2021-10-7 |
| 一种反射式光栅尺，包括有光源(1)、镜头(2)、主光栅尺(3)、副光栅尺(4)和接收单元(5)，主光栅尺(3)上设有第一光栅条纹(31)，副光栅尺(4)上设有与第一光栅条纹(31)相对应的第二光栅条纹(41)，接收单元(5)与副光栅尺(4)为相对平行间隔设置，光源(1)设置于镜头(2)上，第一光栅条纹(31)包括RI码道(311)和增量码道(312)，RI码道(311)依次包括第一不反光区(3111)、增量码道区(3112)、第一反射区(3113)、增量码道区(3114)、第一不反射区(3115)、增量码道区(3116)、第二反射区(3117)、第二不反光区(3118)，接收单元(5)上对应RI码道(311)位置设有接收区(51)，接收区(51)依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A-信号区、B-信号区、Z-信号区。主光栅尺(3)与副光栅尺(4)距离拉远至菲涅尔焦面，RI信号依然强且RI触发位置精准。 |
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