| 利用相互正交的双频激光干涉仪的光学角规测试标定仪 |
| CN200710100222.0 2007-6-6 发明申请 |
| 2007-11-7 |
| 本发明公开了一种高精度的利用相互正交的两个双频激光干涉仪的光学角规测试标定仪，包括主控计算机1、双频激光干涉仪A3及其按光路方向依次放置的分光镜2、静止反射镜4和移动反射镜7，与双频激光干涉仪A3光路相互垂直放置的双频激光干涉仪B13，依次按双频激光干涉仪B13光路放置的长基线分光镜11、长基线反射镜6、光程补偿平行玻璃板5和被测光学角规9，还包括可使被测光学角规9沿主截面方向的移动的精密平移台8、装调光学角规主截面时的微小转动精密角位移台10以及步进电机控制箱12。本发明具有如下显著优点：通过该发明装置测量光学角规偏向角在2″－10″的测量范围内，测量精度可达到0.02″，极大提高了光学角规偏向角的测角精度。采用相互正交的双频激光干涉仪测角，减少了光学材料折射率和干涉条纹判读等其他因素对测角精度的影响。 |
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