| 扫描电子显微镜校准方法、装置、终端及存储介质 |
| CN202111455997.6 2021-12-1 发明申请 |
| 2022-3-22 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜校准方法、装置、终端及存储介质。该方法包括：获取标准样板图像，标准样板图像为通过目标扫描电子显微镜采集的标准样板的图像；根据标准样板图像，获得标准样板的像素尺寸；根据像素尺寸，对目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准。本发明通过标准样板图像获得标准样板的像素尺寸能够更加快速准确的获得标准样板的像素尺寸，因此根据像素尺寸对目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准也更加快速准确，提高了扫描电子显微镜的校准效率和准确度。 |
微信公众号