| 双波长斐索激光干涉仪 |
| CN201410605364.2 2014-10-30 发明申请 |
| 2015-1-28 |
| 双波长斐索激光干涉仪涉及光学仪器领域，该干涉仪第一激光光源和第二激光光源发出激光，经过光纤耦合器耦合后，通过会聚透镜将光会聚在小孔光阑处，经过小孔光阑后光发散出射，由分光镜反射后，经由准直镜准直形成平行光，照射在标准参考镜上；一部分光经由标准参考镜的参考面反射回来，形成参考波前；另一部分光透射过参考镜后，照射在待测元件上，经由待测元件反射回来，形成测量波前；两路反射波经过准直镜返回，由分光镜透射，通过成像镜后，干涉条纹由面阵探测器接收。可在两个波长切换，可以对未镀膜元件进行面形测试，还可以对镀了632.8nm增透膜的光学元件进行面形测试，有效地扩充了现有单波长斐索激光干涉仪的检测能力。 |
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