| 透射电镜样品台倾转结构 |
| CN202111395359.X 2021-11-23 发明申请 |
| 2022-3-18 |
| 本发明提供一种透射电镜样品台倾转结构,该结构包括框架以及框架内的驱动轴、连杆机构、弹性复位件、中空管和样品台,通过在框架的第一转轴上设置连杆机构,在框架的第二转轴上设置样品台,连杆机构的一端与驱动轴连接,另一端与样品台搭接,并将驱动轴设于框架的中空管内,驱动轴移动通过连接机构带动样品台倾转,实现样品台的倾转角度控制;连杆机构对样品台施加旋转力的同时,弹性复位件对样品台施加反向力,减小间隙配合的误差,提高样品台倾转稳定性,有效提高了对样品台绕轴倾转的精度控制。该样品台倾转结构加工、装配简单,结构紧凑,可实现透射电镜样品台倾转角度的精准控制,进而有利于实现高质量的原位观察。 |