| 使用加到偏置电压的带宽外频率分量和相关软件操作扫描隧道显微镜的方法和装置 |
| US17490925 2021-9-30 发明申请 |
| 2022-3-17 |
| 在所公开的系统和方法中，超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)尖端用于通过在负样品偏压下注入电子从Si(100)-2×1 : H表面选择性地解吸氢原子。 本发明公开了一种新的光刻方法，其允许STM在成像条件下操作并同时根据需要解吸H原子。 将高频信号加到负样本偏置电压上，以传递用于除氢所需的能量。 滤波在该频率上产生的电流及其谐波，以使它们对STM的反馈环路的操作的影响最小化。 该方法为从氢封端的硅表面受控和精确地去除氢原子提供了重要的潜力，因此可用于实际的硅基原子级器件的制造。 |
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