| 激光测量仪 |
| DE69608740 1996-7-5 发明授权 |
| 2000-7-13 |
| 一种激光干涉仪测量系统产生一系列对应于回射器18的运动的数字输出正交脉冲。 输出脉冲由主计数器接收，该主计数器包含与后向反射器18的位移相对应的增量计数。 可以通过根据校正因子K缩放输出脉冲来补偿由于干涉仪中的环境或几何误差源而在输出脉冲中存在的误差。输出脉冲被存储在第一计数器30, 130中； 作为按比例缩放的输出脉冲或者由信号发生器200独立地产生的一系列次级脉冲被发送到主计数器和第二计数器80, 180。 处理器50, 150连续地监视第二计数器的值，并将其与位移的实际值进行比较，位移的实际值等于校正因子与第一计数器的瞬时值的乘积。 传送到主计数器和第二计数器的次级脉冲的频率由处理器连续地控制，以便使第二计数器的值与实际位移值相等。 “图像” |
微信公众号