位置测量设备。
 
EP95902845  1994-11-25  发明申请

1995-11-8
 
  一种hexapod机包括一个固定结构(10,11)和一可移动结构(14,15)。六个可扩展的腿(18)之间的连接所述固定和可动结构,和它们的长度确定的相对位置。和所述结构的取向。所述支腿的长度是测量通过各自的激光干涉仪(60,62)。以增加所述所测量的精度,一后向反射器(62)的所述干涉仪是直接安装到和快速与一个所述的结构(14,15),E。G。通过一支架(92)内的一球形空气的轴承(90)。
 
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