| XY级 |
| JP2005363138 2005-12-16 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 要解决的问题 : 具体化的一个XY平台，用于自动地检测旋转方向和一旋转的角度一滑块与所述功能的部分通过提供一种激光干涉仪本身的检测一初始位置转动。溶液 : 该XY级包括所述激光干涉仪和一个杆镜，用于反射该激光的照射束干涉仪。所述激光干涉仪和所述杆镜，使相对所述滑块部根据该运动的运动。该XY级二维地控制所述的台板上的所述滑块部的位置，与所述位置的所述滑块部通过所述激光干涉仪检测。该XY载物台是配备有一旋转检测装置，用于检测所反射的光束通过所述杆镜以检测所述滑块部从所述检测到的光束的旋转。版权 : (C)2007，inpit |
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