| 使用扫描镜和平移台的飞跨光束图形扫描全息显微镜装置 |
| WOKR21012003 2021-9-6 发明申请 |
| 2022-3-17 |
| 本发明涉及一种使用扫描镜和平移台的飞跨光束图案扫描全息显微镜装置。 本发明提供一种飞跨光束图案扫描全息显微镜装置,包括: 扫描光束产生单元,其调制从光源分离的第一光束的相位,以通过第一透镜将第一光束转换为第一球面波; 通过第二透镜将第二光束转换为第二球面波,然后使第一球面波与第二球面波干涉,从而形成扫描光束; 扫描单元,包括:扫描镜,用于控制在水平方向上的扫描光束被传送到投影单元;平移台,用于在投影单元的后端在垂直方向上移动物体; 投影单元包括多个透镜系统和物镜,并将从扫描单元传送的扫描光束投影到物平面上; 以及光收集单元,用于检测在从物体发出荧光或反射之后再次通过物镜的光束, 其中投射到物平面上的扫描光束具有取决于在扫描镜上形成的第一和第二球面波中的每一个的锥角条件和焦点位置的不同图案。 |