| 太赫兹子波扫描显微镜 |
| RU2021114445 2021-5-20 发明授权 |
| 2022-3-16 |
| 现场:测量和诊断设备。 物质:本发明涉及测量和诊断设备,更具体地涉及太赫兹(THz)光谱区域中的近场显微镜。 太赫兹亚波长扫描显微镜包括连续激光器,具有用于X-Y扫描的反射镜的振镜,扩束镜,聚焦透镜,太赫兹辐射发射器,光学低温恒温器,光谱仪,非相干太赫兹辐射探测器,用于收集太赫兹辐射并将其传递给非相干太赫兹辐射的抛物面反射镜。 所述发射器被放置在光学低温恒温器中,并且是物体的载物台,并且被制成吸收激光辐射的半导体材料层的形式。 半导体材料层位于对激光辐射透明并吸收太赫兹辐射的高掺杂半导体衬底上。 效果:显微镜在保持分辨率的同时提供了简化的设计。 5Cl,5DWG |