| 高精度3维坐标测量机 |
| KR1020210070523 2021-6-1 发明申请 |
| 2022-12-8 |
| 本发明涉及一种高精度三维测量装置,其在预先安装在水平扭曲的安装表面上时,更精确地控制用于水平对准的姿态,以确保要求高精度的三维测量装置的被测体测量精度。 根据本发明的高精度三维测量装置包括:底座,其上部形成有x轴导轨; x轴移动单元,其连接到所述x轴导轨以安装成在x轴方向上往复运动,并且具有形成在其上部中的y轴导轨; y轴移动单元,其与所述y轴导轨连接,以在y轴方向上往复运动的方式安装,并且在其前侧形成有z轴导轨; 以及z轴移动单元,其连接到z轴导轨以被安装成在z轴方向上往复运动并且支撑探针.版权KIPO 2023 |