| 一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件 |
| CN202122670205.9 2021-11-3 实用新型 |
| 2022-3-15 |
| 本实用新型公开了一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板，本实用新型能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。 |
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