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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种测量晶圆台平移的外差式激光干涉仪

US10850811 2004-5-21 发明申请

2005-11-24

一种用于测量沿第一轴线的位移的系统，包括可至少沿垂直于第一轴线的第二轴线移动的装置，相对于第一轴线以大于0°的角度安装到所述装置的测量反射镜，以及具有分束器的干涉仪。分束器将输入光束分成测量光束和参考光束，在至少两个通道中将测量光束引导到测量镜，并且在所述至少两个通道之后将测量光束和参考光束组合成输出光束。至少在干涉仪的外部，测量光束在不平行于第一轴线的路径中行进。