| 原子力显微镜测试设备 |
| CN202122472996.4 2021-10-14 实用新型 |
| 2022-3-15 |
| 本申请提供一种原子力显微镜测试设备，包括机架、载台和限位件，载台与机架连接，载台设置有用于承载待测试件的承载面，承载面上设置有标识部。限位件与机架或载台活动连接且凸出承载面，限位件能沿承载面运动至标识部以用于与待测试件抵持。该测试设备通过限位件限位衬底，有效改善衬底在放置于载台的过程中滑离载台的情况，降低衬底被损坏的概率，降低成本；同时，依据标识部所在位置调节限位件相对于承载面的位置，操作便捷，效率高，准确性高。 |
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