| 多轴测量的准确性机 |
| WOGB92001871 1992-10-12 发明申请 |
| 1993-4-29 |
| 该精度的一种多轴电机，如三-轴坐标测量机是通过取测量的一大数量长度的测量在所述的工作体积内的各种位置和取向机。所述这些测量的精度检查是使用一个激光干涉仪(22，24)。一反射镜(20)被安装在一旋转台(14)用于关于两个轴旋转，使得所得激光束(28)可以被引导在一后向反射器(10)安装在所述端部的一个RAM(12)的所述机。以采取长度测量，所述的后向反射器是沿着该方向移动该激光束(28)。这种然后重复与所述激光束(28)中的一个不同取向的数量。本发明还公开了一种方法是用于计算该参量该机从所述误差的误差在这些长度测量。 |
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