| 一种并联压电微动平台 |
| CN201010513338.9 2010-10-22 发明申请 |
| 2011-5-11 |
| 本发明公开了一种并联压电微动平台，包括台体和动平台，特点是台体与动平台之间的四个直角上一体设置有弹性变形体，弹性变形体由两个相对设置且半径与弧长均相等、外凸内凹的圆弧形弹性薄板组成，圆弧形弹性薄板的两端分别与台体的内直角处、动平台的外直角处一体连接，动平台的至少一个侧面上设置有至少一个导向铰链，导向铰链与其正对的台体的内侧面之间固定设置有压电陶瓷执行器，导向铰链的横截面与压电陶瓷执行器的横截面重合；优点是不仅可以实现平动微位移，也可以实现转动微位移，因而可方便地实现一维、二维与三维微位移；整体刚度大，固有频率高；位移传感器的安装不受限制。 |
微信公众号