| 可实现样品变温的接触式表面轮廓仪 |
| CN201510023036.6 2015-1-16 发明申请 |
| 2015-5-27 |
| 可实现样品变温的接触式表面轮廓仪，在支撑座上设有样品台；样品台与支撑座之间有驱动样品台在平行于支撑座方向上移动的平移驱动机构；在样品台上方设有通过支架支撑的探针架，探针设在探针架上，探针架上设有驱动探针在垂直于样品台方向上运动的机构；样品台上设有基座，在基座内设有与温控仪相接的加热件；在加热件的上方设有温控板，温控板上镶嵌有与温控仪相接的温度传感器；在温控板的上方有左、右壳体，左、右壳体刚好夹持在探针架的两侧，使温控板上方形成封闭内腔；内腔通过泵管、阀门与真空泵相接。结构简单，可进行温度控制，测量精度高，易于操作。 |
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