| 扫描探针显微镜 |
| JP2022008371 2022-1-24 发明申请 |
| 2022-3-10 |
| [问题]可以选择性地或联合地显示测量数据和差分数据的分布图像，并且可以获得边缘增强图像，并且提供具有改善的用户便利性的扫描探针显微镜。 解决手段： 在扫描探针显微镜中，获得当检测器和位移检测器相对于样品的表面扫描探针时获得的测量数据，所述位移检测器检测表示悬臂和探针的位移的信号， 测量数据的第一维或二维分布图像201； 分布图像计算装置40a，计算测量数据的相邻数据的差值数据的第二分布图像202；以及显示控制装置40b，用于在预定显示装置40b和分布图像计算装置上显示计算的分布图像。 “选择图”图4 |
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